微波等离子体辅助化学气相沉积法低温合成定向碳纳米管阵列

高等学校化学学报 ›› 2001, Vol. 22 ›› Issue (5): 731.

微波等离子体辅助化学气相沉积法低温合成定向碳纳米管阵列

陈新¹, 胡征¹, 王喜章¹, 吴强¹, 陈懿¹, 杨绍光², 都有为²

1. 南京大学化学系介观材料与化学实验室, 南京大学固体微结构国家重点实验室, 南京210093;
2. 南京大学物理系, 南京210093

收稿日期:2000-10-12 出版日期:2001-05-24 发布日期:2001-05-24
通讯作者: 胡　征(1964年出生),男,博士,教授,博士生导师,从事材料化学、等离子体化学、穆斯堡尔谱学及其应用研究.
基金资助:
国家重点基础研究规划项目(批准号:G1999064508);高校重点实验室基金资助

Well-aligned Carbon Nanotube Array Synthesized at Low Temperature by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

CHEN Xin¹, HU Zheng¹, WANG Xi-Zhang¹, WU Qiang¹, CHEN Yi¹, YANG Shao-Guang², DU You-Wei²

1. Department of Chemistry, Laboratory of Mesoscopic Materials and Chemistry, National Laboratory of Solid State Microstructure, Nanjing University, Nanjing 210093, China;
2. Department of Physics, Nanjing University, Nanjing 210093, China

Received:2000-10-12 Online:2001-05-24 Published:2001-05-24

摘要/Abstract

关键词: 碳纳米管阵列, 微波等离子体, 化学气相沉积, 孔性Al₂O₃模板

Abstract: Well-aligned nanotubes with diameter of 30—50 nm have been synthesized on a porous alumina template by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MW-PECVD). By this means, the control over either diameter or length of the nanotubes could be realized. The hollow structure and vertically aligned features have been verified by scanning electron and transmission electron microscopic images. In comparison with the reported fabrication methods, lower synthesis temperature (below 520 ℃) and simpler process (no negative dc bias applied) have been achieved, which could be of great importance for both theoretical research and pratical applications.

Key words: Carbon nanotube array, Microwave plasma, Chemical vapor deposition, Porous alumina template

中图分类号:

O613.71

TrendMD:

陈新, 胡征, 王喜章, 吴强, 陈懿, 杨绍光, 都有为. 微波等离子体辅助化学气相沉积法低温合成定向碳纳米管阵列. 高等学校化学学报, 2001, 22(5): 731.

CHEN Xin, HU Zheng, WANG Xi-Zhang, WU Qiang, CHEN Yi, YANG Shao-Guang, DU You-Wei . Well-aligned Carbon Nanotube Array Synthesized at Low Temperature by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition. Chem. J. Chinese Universities, 2001, 22(5): 731.

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