甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用

高等学校化学学报 ›› 2002, Vol. 23 ›› Issue (9): 1648.

甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用

姜志刚, 金曾孙, 白亦真, 曹培江, 张露, 杨广亮, 李俊杰, 吕宪义

吉林大学超硬材料国家重点实验室, 长春 130023

收稿日期:2001-12-12 出版日期:2002-09-24 发布日期:2002-09-24
通讯作者: 姜志刚(1964年出生),男,副教授,从事金刚石膜的制备、应用及多功能材料的研究.
基金资助:
教育部优秀中青年项目;吉林省科学技术委员会计划发展基金(批准号:980544)资助

Influence of Methanol Addition on Diamond Films Deposition with Hot Cathode DC-PCVD Method

JIANG Zhi-Gang, JIN Zeng-Sun, BAI YI-Zhen, CAO Pei-Jiang, ZHANG Lu, YANG Guang-Liang, LI Jun-Jie, LÜ Xian-Yi

National Laboratory of Super Hard Materials, Jilin University, Changchun 130023, China

Received:2001-12-12 Online:2002-09-24 Published:2002-09-24

摘要/Abstract

摘要： 采用热阴极DC-PCVD方法制备了金刚石膜,研究了甲醇对放电状态和金刚石膜生长特性的影响.结果表明,通入适量的甲醇有利于稳定辉光放电状态,保持阴极清洁,提高膜的生长质量.用扫描电镜和拉曼光谱等测试手段对金刚石膜的生长特性进行了分析.

关键词: 热阴极DC-PCVD, 甲醇, 辉光放电, 金刚石膜的生长特性

Abstract: Diamond films were deposited with hot cathode DC-PCVDmethod in this paper. The methanol addition influences on discharge state and diamond film growth characteristics were studied. The research results show that a proper amount of methanol addition is beneficial to the stability of glow discharge. It can keep the cathode surface clean and improve the film quality. The growth characteristics of diamond films are analyzed by means of SEMand Raman spectroscopy.

Key words: Hot cathode PCVD, Methanol, Glow discharge, Growth characteristics of diamond films

中图分类号:

O484.5

TrendMD:

姜志刚, 金曾孙, 白亦真, 曹培江, 张露, 杨广亮, 李俊杰, 吕宪义. 甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用. 高等学校化学学报, 2002, 23(9): 1648.

JIANG Zhi-Gang, JIN Zeng-Sun, BAI YI-Zhen, CAO Pei-Jiang, ZHANG Lu, YANG Guang-Liang, LI Jun-Jie, LÜ Xian-Yi. Influence of Methanol Addition on Diamond Films Deposition with Hot Cathode DC-PCVD Method. Chem. J. Chinese Universities, 2002, 23(9): 1648.

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