非晶氮化铁薄膜的生长机制传统动力学生长标度方法的适用性

高等学校化学学报

非晶氮化铁薄膜的生长机制传统动力学生长标度方法的适用性

徐娓¹, 王欣², 贾辉³, 郑伟涛², 龙北红²

1. 吉林大学化学学院, 无机合成与制备化学国家重点实验室,
2. 吉林大学材料科学与工程学院, 汽车材料教育部重点实验室, 长春 130012;
3. 北华大学物理学院, 吉林 132021

收稿日期:2007-04-26 修回日期:1900-01-01 出版日期:2007-11-10 发布日期:2007-11-10
通讯作者: 王欣

Growth Behavior of Amorphous Fe—N Thin Films Applicability of Conventional Dynamic Scaling Approach

XU Wei¹, WANG Xin²*, JIA Hui³, ZHENG Wei-Tao², LONG Bei-Hong²

1. State Key Laboratory of Inorganic Synthesis and Preparative Chemistry, College of Chemistry,
2. Key laboratory of Automobile Materials of MOE, Collgeg of Materials Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China;
3. School of Physics, Beihua University, Jilin 132021, China

Received:2007-04-26 Revised:1900-01-01 Online:2007-11-10 Published:2007-11-10
Contact: WANG Xin

摘要/Abstract

摘要： 采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制, 结果表明, 具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点, 其粗糙度指数α=0.82±0.21, 生长指数β=0.44±0.07, 动力学标度指数1/z=0.54±0.07. 薄膜生长符合提出的热重新发射生长模型.

关键词: 非晶氮化铁薄膜, 动力学标度方法, 热重新发射模型

Abstract: Dynamic scaling approach is an effective tool for studying the growth behavior of roughness surfaces. The growth behavior of amorphous Fe—N thin films grown by dc magnetron sputtering at 250 ℃ substrate temperature was investigated. The surface morphology of the films appeared as a set of continuous mounds and exhibited scale-invariant self-affine fractal. The measured dynamic scaling components(α=0.82±0.21, β=0.44±0.07, and 1/z=0.54±0.07) are consistent with the conventional dynamic scaling relationship z=α/β. The intermediate value of growth exponent β agrees well with the thermal reemission model suggested by Karabacak et al. It might be concluded that both reemission of atoms and surface diffusion are the surface smoothing effects for the shadowing growth of amorphous Fe—N films at high substrate temperatures.

Key words: Amorphous iron nitride thin films, Dynamic scaling approach, Thermal reemissions model

中图分类号:

TrendMD:

徐娓,王欣,贾辉,郑伟涛,龙北红 . 非晶氮化铁薄膜的生长机制传统动力学生长标度方法的适用性. 高等学校化学学报, doi: .

XU Wei¹, WANG Xin²*, JIA Hui³, ZHENG Wei-Tao², LONG Bei-Hong². Growth Behavior of Amorphous Fe—N Thin Films Applicability of Conventional Dynamic Scaling Approach. Chem. J. Chinese Universities, doi: .

参考文献

相关文章 15

[1]	程媛媛, 郗碧莹. ·OH自由基引发CH₃SSC $H 3 •$ ⁺自由基裂解反应机理的理论研究[J]. 高等学校化学学报, 2022, 43(10): 20220271.
[2]	安丰, 胡茜茜, 谢代前. 三原子分子非绝热传能动力学的研究进展[J]. 高等学校化学学报, 2021, 42(7): 2103.
[3]	商辰尧, 张东辉. 基本不变量神经网络解析梯度方法的研究[J]. 高等学校化学学报, 2021, 42(7): 2146.
[4]	陈海亮, 张志红, 吕文彩. 碰撞能对K(²S)+HF(X¹Σ⁺)→KF(X¹Σ⁺)+H(²S)反应的影响[J]. 高等学校化学学报, 2021, 42(7): 2279.
[5]	吉钰纯, 毛文慧, 廖和杰, 王吉林, 龙飞, 谷云乐. 氮化硼纳米管-纳米片分级结构的制备及光学和吸附特性[J]. 高等学校化学学报, 2019, 40(2): 216.
[6]	陆越, 马建兵, 黄星榞, 肖雪, 李明, 陆颖, 徐春华. 单分子磁镊测量高亲和反应系数[J]. 高等学校化学学报, 2018, 39(6): 1228.
[7]	周丽婷, 雷小洋, 王渭娜, 陈东平, 刘峰毅, 王文亮. Criegee中间体RCHOO(R=H,CH₃)与NO₂反应机理及大气中HNO₃的形成[J]. 高等学校化学学报, 2018, 39(5): 956.
[8]	胡建华, 单继业, 童真. 咪唑改性氧化石墨烯对阻燃环氧固化动力学的促进作用[J]. 高等学校化学学报, 2017, 38(10): 1906.
[9]	王睿, 李一粒, 凤旭凯, 宋亮, 张田雷, 王竹青, 靳玲侠, 张强, 许琼, 王志银. n(H₂O)(n=1,2)在HO₂+NOHNO₃反应中的催化机制研究[J]. 高等学校化学学报, 2017, 38(3): 429.
[10]	王志成, 习海玲, 孔令策, 赵三平, 左言军. H₂O₂/[C_nMIm]HCO₃对CEES的消毒动力学及机理[J]. 高等学校化学学报, 2016, 37(12): 2191.
[11]	付茂, 吴德礼, 张亚雷, 张勇. 多羟基结构态亚铁化合物预处理含亚硒酸盐工业废水的影响机制[J]. 高等学校化学学报, 2016, 37(12): 2221.
[12]	许雪松, 李磊, 荆波, 杨鲲. 振动激发对O+DCl $⟶$ OD+Cl反应动力学性质的影响[J]. 高等学校化学学报, 2016, 37(7): 1390.
[13]	刘治庆, 薛飞, 雷振凯, 刘晨江. 离子液体1-烷基-3-羧甲基苯并咪唑双三氟甲磺酰亚胺盐的合成及在油品中的脱硫应用[J]. 高等学校化学学报, 2016, 37(5): 886.
[14]	高志芳, 王渭娜, 马倩, 刘峰毅, wlwang@snnu.edu.cn. Criegee中间体CH₃CHOO与OH自由基反应机理的理论研究[J]. 高等学校化学学报, 2016, 37(3): 513.
[15]	王帅, 王渭娜, 高志芳, 王文亮. 白皮杉醇PIC与OH自由基反应机理的理论研究[J]. 高等学校化学学报, 2015, 36(8): 1588.