高等学校化学学报 ›› 2004, Vol. 25 ›› Issue (S1): 45.

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一种玻璃微流控芯片的制作方法研究

李成武1,2, 王永宁1, 高云华1   

  1. 1. 中国科学院理化技术研究所, 北京 100101;
    2. 中国科学院研究生院, 北京 100039
  • 出版日期:2004-12-31 发布日期:2004-12-31
  • 通讯作者: 高云华
  • 基金资助:

    国家"八六三"计划项目(批准号:2001AA630503)和中国科学院"百人计划"资助.

A Novel Microfabrication Technique for Glass Microfluidic Chips

LI Cheng-Wu1,2, WANG Yong-Ning1, GAO Yun-Hua1   

  1. 1. Technical Institute of Physics and Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100101, China;
    2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China
  • Online:2004-12-31 Published:2004-12-31

摘要:

研究了以ITO膜为掩膜的玻璃微芯片的制作方法和玻璃-玻璃键合技术,并详细讨论了腐蚀条件对掩膜的性能、玻璃的蚀刻速率和微通道表面形貌的影响.总结出了该制作方法与传统玻璃芯片的制作方法相比具有的特点和优势.开发出了一种成本低且简易的玻璃芯片制作方法.

关键词: ITO玻璃, 微流控芯片, 刻蚀, 键合

Key words: ITO glass, Microfluidic chip, Chemical etching, Bonding

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