高等学校化学学报 ›› 2003, Vol. 24 ›› Issue (7): 1251.
张加涛, 曹传宝, 吕强, 李超, 朱鹤孙
ZHANG Jia-Tao, CAO Chuan-Bao, Qiang, LI Chao, ZHU He-Sun
摘要: 采用液相电化学沉积法,以二氰二胺的丙酮溶液为沉积液,以镀有ITO(铟锡氧化膜)的导电玻璃为衬底制备了CNx薄膜.初步探讨了沉积温度和沉积电压对薄膜中氮含量的影响.通过XPS、FTIR光谱、SEM和US-Vis光谱对得到的CNx薄膜的化学结合状态、结构形貌和光学性质进行了表征,并用高电阻仪对薄膜的绝缘性进行了分析.XPS结果表明,CNx薄膜中碳氮主要以单键连接,sp3杂化的C—N键占85%.在IR光谱中,仅出现了C—N键和CN双键的吸收峰.SEM图谱显示CNx薄膜呈颗粒状,粒径平均为80nm左右.在水浴加热条件下沉积的CNx薄膜在200~300nm近紫外区为非线性吸收.薄膜的电阻率随氮含量的增加而增大,测量值在1012~1016Ω·cm之间.
中图分类号:
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