铁酸镧纳米晶薄膜制备及其在MOS场效应晶体管气敏元件上的应用

高等学校化学学报 ›› 1993, Vol. 14 ›› Issue (10): 1437.

铁酸镧纳米晶薄膜制备及其在MOS场效应晶体管气敏元件上的应用

赵善麟¹, 赵纯¹, 才宏¹, 徐宝琨¹, 彭作岩², 赵慕愚²

1. 吉林大学电子工程系, 长春 130023;
2. 吉林大学化学系

收稿日期:1993-06-28 出版日期:1993-10-24 发布日期:1993-10-24
通讯作者: 赵善麒, 男, 30岁, 博士后, 讲师
作者简介:赵善麒, 男, 30岁, 博士后, 讲师
基金资助:
高等学校博士学科点专项基金;集成光电子学国家重点联合实验室基金

Preparation of LaFeO₃ Nanocrystalline Thin Film and Application in the MOSFET Gas Sensor

ZHAO Shan-Qi¹, ZHAO Chun¹, CAI Hong¹, XU Bao-Kun¹, PENG Zuo-Yan², ZHAO Mu-Yu²

1. Electr.Eng.Dept., Jilin Univ., Changchun, 130023;
2. Chem.Dept., JilinUniv.

Received:1993-06-28 Online:1993-10-24 Published:1993-10-24

摘要/Abstract

关键词: 铁酸镧, 溶胶-凝胶法, 纳米晶薄膜, MOS场效应晶体管, 气敏元件

Abstract: The precursors of LaFeO₃ were prepared by sol-gel method and nanocrystalline film of the LaFeO₃ were obtained by a solid phase reaction at about 550℃ for 1 hour.The thicknesses of the nanocrystalline films are uniformly distributed, and their crystal sizes are 40-50 nm.Combining this thin film technology with planar technique of integrated circuit, we have developed NCF-OSFETgas sensor for the first time.This device not only has good sensitivity to ethanol, but also has excellent selectivity.

Key words: Lanthanum ferrite, Sol-gel method, Nanocrystalline thin film, MOS field effect transistor, Gas sensor

TrendMD:

赵善麟, 赵纯, 才宏, 徐宝琨, 彭作岩, 赵慕愚. 铁酸镧纳米晶薄膜制备及其在MOS场效应晶体管气敏元件上的应用. 高等学校化学学报, 1993, 14(10): 1437.

ZHAO Shan-Qi, ZHAO Chun, CAI Hong, XU Bao-Kun, PENG Zuo-Yan, ZHAO Mu-Yu . Preparation of LaFeO₃ Nanocrystalline Thin Film and Application in the MOSFET Gas Sensor. Chem. J. Chinese Universities, 1993, 14(10): 1437.

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