表面波激发微波等离子体-醋酸钴解离沉积钴薄膜的研究

高等学校化学学报 ›› 1993, Vol. 14 ›› Issue (7): 935.

表面波激发微波等离子体-醋酸钴解离沉积钴薄膜的研究

于爱民, 李全忠, 金钦汉

吉林大学化学系, 长春 130023

收稿日期:1993-02-24 修回日期:1993-05-22 出版日期:1993-07-24 发布日期:1993-07-24
通讯作者: 于爱民
作者简介:第一作者:男, 39岁, 副教授.
基金资助:
国家自然科学基金

Studies on Deposition of Cobalt Thin Film by Surface Wave Excitation Microwave Plasma Dissociation of Co(CH₃COO)₂

YU Ai-Min, LI Quan-Zhong, JIN Qin-Han

Department of Chemistry, Mia University, Changchun, 130023

Received:1993-02-24 Revised:1993-05-22 Online:1993-07-24 Published:1993-07-24

摘要/Abstract

关键词: 表面波激发, 微波等离子体, 钴膜

Abstract: Using a low-powered microwave generator and a Surfatron discharge cavity, cobalt filmswere synthesized on silica glass substrates from hydrogenolysis of Co(CH₃COO)₂ by Ar microwave plasma surface wave excitation.In addition, the chemical behavior of atomic hydrogen on the formation of cobalt film was studied and discussed.

Key words: Surface wave excitation, Microwave plasma, Cobalt film

TrendMD:

于爱民, 李全忠, 金钦汉. 表面波激发微波等离子体-醋酸钴解离沉积钴薄膜的研究. 高等学校化学学报, 1993, 14(7): 935.

YU Ai-Min, LI Quan-Zhong, JIN Qin-Han . Studies on Deposition of Cobalt Thin Film by Surface Wave Excitation Microwave Plasma Dissociation of Co(CH₃COO)₂. Chem. J. Chinese Universities, 1993, 14(7): 935.

[1]	王新晨, 杨美玲, 张小平. 调控微波等离子体能量进行药片活性分子结构的质谱分析[J]. 高等学校化学学报, 2017, 38(4): 561.
[2]	李佳慧, 张起凯, 赵杉林, 李萍. 微波等离子体炬原子发射光谱法测定铁增敏效应[J]. 高等学校化学学报, 2017, 38(4): 547.
[3]	熊小红, 张燕, 周润芝, 王尚贤, 蒋涛, 曾斌, 漆文豪, 朱志强. 微波等离子炬质谱负模式检测水中常见过渡金属离子[J]. 高等学校化学学报, 2016, 37(5): 867.
[4]	钟涛, 杨美玲, 裴妙荣, 张兴磊, 乐长高, 王广才, 陈焕文. 微波等离子体炬-质谱法测定饮用水中微量钙[J]. 高等学校化学学报, 2016, 37(1): 26.
[5]	金伟, 于丙文, 朱旦, 应仰威, 于海翔, 金钦汉. 一种原子光谱分析用新激发光源——千瓦级微波等离子体炬(kW-MPT)[J]. 高等学校化学学报, 2015, 36(11): 2157.
[6]	张体强, 金伟, 周建光, 张莹, 朱志强, 周炜, 金钦汉. 微波等离子体常压解吸电离质谱法快速检测化学药剂中的活性成分[J]. 高等学校化学学报, 2012, 33(09): 1938.
[7]	师宇华, 吴立航, 李红梅, 于爱民, 张寒琦, 金钦汉 . 气相色谱-微波等离子体炬双检测器及其气相色谱的响应特性[J]. 高等学校化学学报, 2007, 28(10): 1842.
[8]	刘铭飞, 姜银珠, 高建峰, 王艳艳, 孟广耀. 单一混合固态源PE-MOCVD法制备YSZ薄膜及其表征[J]. 高等学校化学学报, 2005, 26(11): 1981.
[9]	张金生, 李丽华, 张金平, 金钦汉. 微波消解-微波等离子体炬原子发射光谱法测定无铅汽油中痕量铅的研究[J]. 高等学校化学学报, 2004, 25(7): 1248.
[10]	刘兵, 阳明辉, 杨海峰, 沈国励, 俞汝勤. 基于等离子体聚合膜固定酶的H₂O₂生物传感器[J]. 高等学校化学学报, 2004, 25(10): 1820.
[11]	王升高, 汪建华, 王传新, 满卫东, 马志斌, 张保华. 镍基板上低温合成定向纳米碳管[J]. 高等学校化学学报, 2003, 24(7): 1163.
[12]	周建光, 彭增辉, 郇延富, 于爱民, 金钦汉, 周翔, 刘梅. 微波等离子体炬发射光谱法去溶系统性能的研究[J]. 高等学校化学学报, 2002, 23(7): 1273.
[13]	陈新, 胡征, 王喜章, 吴强, 陈懿, 杨绍光, 都有为. 微波等离子体辅助化学气相沉积法低温合成定向碳纳米管阵列[J]. 高等学校化学学报, 2001, 22(5): 731.
[14]	赵丽巍, 付瑶, 宋大千, 张寒琦, 金钦汉. 微波等离子体炬耦合方式的研究[J]. 高等学校化学学报, 2001, 22(2): 201.
[15]	师宇华, 刘淼, 曹彦波, 彭增辉, 宋庆宇, 吴立航, 于爱民, 金钦汉. 气相色谱用氩微波等离子体炬发射光谱检测器——对Sn,P,Si和B金属有机化合物响应特性的研究[J]. 高等学校化学学报, 2000, 21(11): 1642.