高等学校化学学报
表面波激发微波等离子体-醋酸钴解离沉积钴薄膜的研究
于爱民, 李全忠, 金钦汉
Studies on Deposition of Cobalt Thin Film by Surface Wave Excitation Microwave Plasma Dissociation of Co(CH3COO)2
YU Ai-Min, LI Quan-Zhong, JIN Qin-Han
高等学校化学学报 . 1993, (7): 935 -936 .