氩离子激光固化环氧树脂制作三维微结构

高等学校化学学报 ›› 2002, Vol. 23 ›› Issue (6): 1205.

氩离子激光固化环氧树脂制作三维微结构

曾兆华¹, 王霞², 杨建文¹, 汪河洲², 陈用烈¹

1. 中山大学化学与化学工程学院高分子研究所, 广州 510275;
2. 超快速激光光谱学国家重点实验室, 广州 510275

收稿日期:2002-03-11 出版日期:2002-06-24 发布日期:2002-06-24
通讯作者: 曾兆华(1962年出生),男,博士,副教授,主要从事光功能高分子研究.E-mail:ceszzh@21cn.com E-mail:ceszzh@21cn.com
基金资助:
广东省自然科学基金(批准号:011104);及国家自然科学基金(批准号:59973027)资助

Fabrication of Three-dimensional Microstructure by Argon Ion Laser Curing of Epoxy Resin

ZENG Zhao-Hua¹, WANG Xia², YANG Jian-Wen¹, WANG He-Zhou², CHEN Yong-Lie¹

1. School of Chemistry and Chemical Engineering, Guangzhou 510275, China;
2. State Key Laboratory of Ultrafast Laser Spectroscopy, Zhongshan University, Guangzhou 510275, China

Received:2002-03-11 Online:2002-06-24 Published:2002-06-24

摘要/Abstract

关键词: 氩离子激光, 全息光刻技术, 感光树脂, 微结构

Abstract: Visible light curable photoresist consisting of epoxy resin Epon SU8 and iron arene photo initiator Irgacure 261 was used to fabricate three-dimensional microstructure by means of three-dimensional holographic lithography technique. Argon ion laser with wavelength of 488 nm was used as light source in the experiments. Field emission microscope diagram showed the formation of three-dimensional microstructure. It was found that the amount of photo-initiator, the laser intensity and the exposure time are the key factors to obtain well defined three-dimensional microstructure.

Key words: Argon ion laser, Holographic lithography technique, Photoresist, Microstructure

中图分类号:

O631

TrendMD:

曾兆华, 王霞, 杨建文, 汪河洲, 陈用烈. 氩离子激光固化环氧树脂制作三维微结构. 高等学校化学学报, 2002, 23(6): 1205.

ZENG Zhao-Hua, WANG Xia, YANG Jian-Wen, WANG He-Zhou, CHEN Yong-Lie . Fabrication of Three-dimensional Microstructure by Argon Ion Laser Curing of Epoxy Resin. Chem. J. Chinese Universities, 2002, 23(6): 1205.

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