表面气氛处理对气敏元件特性的影响

高等学校化学学报 ›› 1994, Vol. 15 ›› Issue (10): 1514.

表面气氛处理对气敏元件特性的影响

全宝富, 卢革宇, 孙良彦

吉林大学电子工程系, 长春, 130023

收稿日期:1993-10-25 修回日期:1994-04-27 出版日期:1994-10-24 发布日期:1994-10-24
通讯作者: 全宝富,男,48岁,副教授.
作者简介:全宝富,男,48岁,副教授.
基金资助:
国家自然科学基金;“八五”攻关项目

Influence of Surface Gas-Atmospheric Treatment on Characteristics of Gas Sensing Element

QUAN Bao-Fu, LU Ge-Yu, SUN Liang-Yan

Department of Electronic Engineering, Jilin Univertsity, Changchun, 130023

Received:1993-10-25 Revised:1994-04-27 Online:1994-10-24 Published:1994-10-24

摘要/Abstract

摘要： 选择适当气体对气敏元件进行表面处理是气敏元件表面修饰的重要方法。本文利用SO₂对H₂S气敏元件进行了不同条件的处理,使得气敏元件的灵敏度和选择性得到了明显的改善。

关键词: SO₂气氛处理, 气敏元件特性, 表面修饰

Abstract: Choosing suitable gas for the surface treatment of gas sensing elements is one of the important technologies on the surface modification of the gas sensing elements, In the present paper, H₂Sgas sensing element has been treated with SO₂ gas under different conditions by which both sensitivity and selectivity of the gas sensing elements have been improved considerably.

Key words: SO₂ atmospheric treatment, Gas sensing characteristics, Surface modification

TrendMD:

全宝富, 卢革宇, 孙良彦. 表面气氛处理对气敏元件特性的影响. 高等学校化学学报, 1994, 15(10): 1514.

QUAN Bao-Fu, LU Ge-Yu, SUN Liang-Yan. Influence of Surface Gas-Atmospheric Treatment on Characteristics of Gas Sensing Element. Chem. J. Chinese Universities, 1994, 15(10): 1514.

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