亚微米级叉指型超微带电极阵列的加工和电化学表征

高等学校化学学报 ›› 2005, Vol. 26 ›› Issue (5): 838.

亚微米级叉指型超微带电极阵列的加工和电化学表征

朱明智^1,2,3, 蒋庄德^1,2, 景蔚萱^1,2

1. 机械制造系统工程国家重点实验室,
2. 西安交通大学精密工程研究所, 西安710049;
3. 中国工程物理研究院总体工程研究所, 绵阳621900

收稿日期:2005-07-14 出版日期:2005-05-10 发布日期:2005-05-10
通讯作者: 朱明智(1973年出生),男,博士研究生,从事MEMS与电化学生物传感器研究.E-mail:zhumingzhi@mailst.xjtu.edu.cn E-mail:zhumingzhi@mailst.xjtu.edu.cn
基金资助:
国家重点基础研究发展计划项目(批准号:2003CD716201,2003CD716202)资助.

Fabrication and Electrochemical Characterization of Submicrometer Interdigitated Ultramicroelectrode Arrays

ZHU Ming-Zhi^1,2,3, ^1,2, JIANG Zhuang-De^1,2

1. State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering;
2. Institute of Precision Engineering, Xi'an Jiaotong University, Xi'an 710049, China;
3. Institute of Structural Mechanics, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China

Received:2005-07-14 Online:2005-05-10 Published:2005-05-10

摘要/Abstract

关键词: 叉指型超微带电极阵列, 微细加工技术, 循环伏安法

Abstract: A gold submicrometer interdigitated ultramicroelectrode array(IDA) was fabricated by conventional photolithographic patterning of multilayered materials. The IDA structure, which consists of 50 pairs of fingers and has 1.5 mm finger length and 362 nm functional band width, is fabricated in a small region(1.5 mm×2.3 mm) on a quartz substrate. The electrode surfaces are inside the (trenches). Gold film thickness is the electrode width that is exactly measured by atomic force microscopy(AFM). The surface topographies of gold film and substrate are characterized by AFM for the study of the variation of electrode width. Scanning electron microscopy(SEM) is used to visualize the quality of fabrication and to measure the fingers. Electrochemical properties of IDA electrodes are investigated by cyclic voltammetry through three-electrode system. It is shown that IDA electrodes can be used as the disposable ultramicroelectrodes of chemical and biologic sensors.

Key words: Interdigitated ultramicroelectrode array, Microfabrication technique, Cyclic voltammetry

中图分类号:

O657.15

TrendMD:

朱明智, 蒋庄德, 景蔚萱. 亚微米级叉指型超微带电极阵列的加工和电化学表征. 高等学校化学学报, 2005, 26(5): 838.

ZHU Ming-Zhi,, JIANG Zhuang-De, JING Wei-Xuan. Fabrication and Electrochemical Characterization of Submicrometer Interdigitated Ultramicroelectrode Arrays. Chem. J. Chinese Universities, 2005, 26(5): 838.

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