Pd-Y合金膜的MOCVD研制

高等学校化学学报 ›› 2000, Vol. 21 ›› Issue (1): 14.

Pd-Y合金膜的MOCVD研制

夏长荣, 郭晓霞, 汪学军, 陈初生, 彭定坤, 孟广耀

中国科技大学材料科学与工程系, 合肥 230026

收稿日期:1999-05-05 出版日期:2000-01-24 发布日期:2000-01-24
通讯作者: 夏长荣(1960年出生),男,博士,副教授,从事无机膜研究.
基金资助:
国家自然科学基金(批准号:29631020)资助

Preparation of Pd-Y Alloy Membranes on Porous Alumina by MOCVD Using Mixed Metal β-Diketone as Precursors

XIA Chang-Rong, GUO Xiao-Xia, WANG Xue-Jun, CHEN Chu-Sheng, PENG Ding-Kun, MENG Guang-Yao

Department of Materials Science and Engineering, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China

Received:1999-05-05 Online:2000-01-24 Published:2000-01-24

摘要/Abstract

摘要： 采用金属有机化合物的化学气相淀积法,以β-二酮螯合物为源物质,在多孔Al₂O₃衬底上成功制备了超薄钯钇合金膜.用Pd(AcAc)₂+Y(AcAc)₃混合源制备的钯钇合金膜的晶粒尺寸(21nm×10nm)比单独用Pd(AcAc)₂制备的钯膜的尺寸(30nm×10nm)小.XPS研究发现,制备的Pd-Y合金膜中Y/Pd比小于源物质的.氢的透气性实验表明,合金膜的氢渗透率高于Pd膜,且在200～350℃范围内渗透率稳定.

关键词: Pd-Y合金, &beta, -二酮螯合物, 化学气相淀积, 金属陶瓷复合膜

Abstract: A metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) process with metal β-diketone as precursor was applied to preparing Pd and Pd-Y alloy composite membranes on porous alumina substrates. A palladium phase membrane consisting of primary crystallites with dimension of around 30 nm×10 nm was deposited when a single Pd(AcAc)₂ precursor was used. With a mixed precursor of 8Pd(AcAc)₂+Y(AcAc)₃, uniform and dense Pd-Y alloy membranes were reproducibly formed. The alloy membranes consisted of primary crystallites with a dimension of 21 nm×10 nm , which is much smaller than that of pure Pd membranes. XPS studies revealed that the content of Y in the Pd-Y alloy membranes was less than that in the mixed precursor. This goes along with the results of thermal gravimetric analysis of metal β-diketones, which showed that the volatility of Y(AcAc)₃ was lower than that of Pd(AcAc)₂. Hydrogen testing showes that the flux of a Pd-Y alloy membrane is much higher than that of a Pd membrane at the temperature investigated. And Pd-Y alloy membranes were more stable than Pd membranes.

Key words: Pd-Y alloy, β-Diketone, MOCVD, Ceramic-metal composite membrane

中图分类号:

O614

TrendMD:

夏长荣, 郭晓霞, 汪学军, 陈初生, 彭定坤, 孟广耀. Pd-Y合金膜的MOCVD研制. 高等学校化学学报, 2000, 21(1): 14.

XIA Chang-Rong, GUO Xiao-Xia, WANG Xue-Jun, CHEN Chu-Sheng, PENG Ding-Kun, MENG Guang-Yao . Preparation of Pd-Y Alloy Membranes on Porous Alumina by MOCVD Using Mixed Metal β-Diketone as Precursors. Chem. J. Chinese Universities, 2000, 21(1): 14.

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