张路远1,2, 胡圣虹1,2, 胡兆初2, 胡明月3, 郭伟1,2, 刘勇胜2
ZHANG Lu-Yuan1,2, HU Sheng-Hong1,2*, HU Zhao-Chu2, HU Ming-Yue3, GUO Wei1,2, LIU Yong-Sheng2
摘要: 采用自制的大气压下介质阻挡放电装置串联在激光剥蚀池与ICP炬管之间, 对激光剥蚀产生的气溶胶进行预电离. 结果表明, 元素瞬时信号轮廓的平滑度得以改善, 元素分析信号精密度(RSD, n=3)可提高2.55%. 在ArF准分子激光(193 nm)和Nd∶YAG 固体激光(213 nm)两种不同波长的激光剥蚀系统中, 元素分馏因子均比常规模式下更接近于1, 表明采用介质阻挡放电对气溶胶预电离后元素分馏效应得以有效抑制. 相比两种不同波长的激光剥蚀系统, 介质阻挡放电对213 nm固体激光的元素分馏效应改善作用明显.
中图分类号:
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