硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征

高等学校化学学报 ›› 2005, Vol. 26 ›› Issue (4): 599.

硅基图案化TiO₂表面微结构的制备和表征

管飞, 陈淼, 张瑞, 梁山, 薛群基

中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 中国科学院研究生院兰州 730000

收稿日期:2004-08-31 出版日期:2005-04-10 发布日期:2005-04-10
通讯作者: 陈　淼(1970年出生),女,博士,研究员,博士生导师,从事功能界面材料研究.E-mail:miaochen@ls.lac.cn E-mail:miaochen@ls.lac.cn
基金资助:
国家自然科学基金(批准号:20473106);国家“九七三”计划(批准号:2003CB716200)资助.

Preparation and Characterization of Patterned TiO₂ Microstructures on Silicon Surface

GUAN Fei, CHEN Miao, ZHANG Rui, LIANG Shan, XUE Qun-Ji

State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China

Received:2004-08-31 Online:2005-04-10 Published:2005-04-10

摘要/Abstract

摘要： 结合微接触印刷术和TiO₂沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO₂薄膜,并利用XPS,SEM和AFM对其表面性质和结构进行了表征.该硅基图案化TiO₂微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义.

关键词: 微图案, 微接触印刷术, TiO₂微结构

Abstract: Micro-patterned TiO₂ films on Si wafers was fabricated by selective deposition and microcontact printing technique. X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), scanning electron microscope(SEM) and atomic force microscopy(AFM) were used to examine the properties and microstructure of the patterned TiO₂ films. This patterned TiO₂ microstructures may be widely used in the field of photonics, optics, sensing and microelectromechanical system(MEMS).

Key words: Micro-patterns, Microcontact printing, TiO₂ microstructures

中图分类号:

TB43
O69

TrendMD:

管飞, 陈淼, 张瑞, 梁山, 薛群基. 硅基图案化TiO₂表面微结构的制备和表征. 高等学校化学学报, 2005, 26(4): 599.

GUAN Fei, CHEN Miao, ZHANG Rui, LIANG Shan, XUE Qun-Ji. Preparation and Characterization of Patterned TiO₂ Microstructures on Silicon Surface. Chem. J. Chinese Universities, 2005, 26(4): 599.

参考文献

[1] Xia Y.,Zhao X.M.,Whitesides G.M..Microelectron.Eng.[J]1996,32:255_268 [2] Park M.,Harrison C.,Chaikin P.M.etal..Science[J],1997,276:1401_1404 [3] Xia Younan.,Rogers John A.,Paul Kateri E.etal..Chem.Rev.[J],1999,99:1823_1848 [4] Xia Y.,Whitesides G.M..Annu.Rev.Mater.Sc.i[J],1998,28:153_184 [5] Masuda Y.,Seo W.S.,Koumo to K..Langmuir[J],2001,17:4876_4880 [6] Niesen T.P.,Bill J.,Aldinger F..Chem.Mater.[J],2001,13:1552_1559 [7] FU Hong-Gang(付宏刚),WANG Jian-Qiang(王建强),REN Zhi-Yu(任志宇)etal..Chem.J.Chinese Universities(高等学校化学学报)[J],2003,24(9):1671_1676 [8] SUN Wen-Tao(孙文涛),ZHOU Shu-Yun(周树云),JIANG Lei(江雷)etal..Chem.J.Chinese Universities(高等学校化学学报)[J],2003,24(9):1642_1644 [9] ZHU Yong-Fa(朱永法),LI Wei(李巍),HE Yu(何俣)etal..Chem.J.Chinese Universities(高等学校化学学报)[J],2003,24(3):465_468 [10] Shin H.,Collins R.J.,Guire M.R.De.etal..J.Mater.Res.[J],1995,10(3):692_698 [11] Shin H.,Collins R.J.,Guire M.R.De.etal..J.Mater.Res.[J],1995,10(3):699_703 [12] Lin H.,Kozuka H.,Yoko T..Thin Solid Thin Films[J],1998,315:111_117 [13] Niesen T.P.,Guire M.R.De.,Bill J.etal..J.Mater.Res.[J],1999,14(6):2464_2475 [14] Huang D.,Xiao Z.D.,Gu J.H.etal..Thin Solid Films,[J],1997,305:110_115 [15] XIAO Zhong-Dang(肖中党),HUANG Dan(黄丹),GU Jian-Hua(顾建华)etal..Acta Physico-Chimica Sinica(物理化学学报)[J],1998,14(1):57_62 [16] HUANG Dang(黄丹),XIAO Zhong-Dang(肖忠党),HUANG Ning-Pin(黄宁平)etal..Acta Chimica Sinica(化学学报)[J],1998,56:417_422 [17] Masuda Y.,Ieda S.,Koumo to K..Langmuir[J],2003,19:4415_4419 [18] Masuda Y.,Sugiyamaa T.,Linb H.etal..Thin Solid Films[J],2001,382:153_157 [19] Shin H.,Agarwal M.,Guire M.R.De.etal..Acta Mater.[J],1998,46:801_815 [20] Nabivants B.I.,Kudritskaya L.N..Russ.J.Inorg.Chem.[J],1967,12:789_792

硅基图案化TiO₂表面微结构的制备和表征

Preparation and Characterization of Patterned TiO₂ Microstructures on Silicon Surface

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[1]	刘欣,沈峥,吴大朋,王琪 ,秦建华,林炳承 . 光刻蚀法制备水凝胶微图案及其应用[J]. 高等学校化学学报, 2008, 29(2): 298.
[2]	王哲, 邢汝博, 韩艳春, 李滨耀. 聚合物三维微图案加工的转移微模塑新方法[J]. 高等学校化学学报, 2003, 24(5): 946.