高等学校化学学报

高等学校化学学报 ›› 2003, Vol. 24 ›› Issue (5): 946.

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聚合物三维微图案加工的转移微模塑新方法

王哲, 邢汝博, 韩艳春, 李滨耀   

  1. 中国科学院长春应用化学研究所高分子物理与化学国家重点实验室, 130022
  • 收稿日期:2002-02-01 出版日期:2003-05-24 发布日期:2003-05-24
  • 通讯作者: 韩艳春(1966年出生),女,博士,研究员,博士生导师,主要从事高分子纳米图案化方面的研究.
  • 基金资助:

    中国科学院“百人计划”;中国科学院知识创新工程方向性项目(批准号:KGCX2-205-03);国家杰出青年科学基金(批准号:50125311);国家自然科学基金(批准号:20023003);吉林省杰出青年科学基金(批准号:20010101)资助

A New Method for Fabrication of Three-dimensional Polymer Micropatterning-Microtransfer Molding

WANG Zhe, XING Ru-Bo, HAN Yan-Chun, LI Bin-Yao   

  1. State Key Lab of Polymer Physics and Chemistry, Changchun Institute of Applied Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Changchun 130022, China
  • Received:2002-02-01 Online:2003-05-24 Published:2003-05-24

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摘要： 光刻蚀技术是微电子加工技术中最成功的一种,但由于受到光学衍射等的限制,100nm是光刻蚀的极限,为此人们探索了许多先进的刻蚀技术,如超紫外线刻蚀(EUV)、软X射线刻蚀、电子束刻蚀和聚焦离子束刻蚀(FIB)等,可制作尺寸小于100nm的图形,但普遍存在加工速度慢及成本高等缺点.

关键词: 转移微模塑, 微图案, 弹性软模板

Abstract: Microtransfer molding (μTM) is a kind of soft lithography for polymer micropatterning. In μTM, a liquid prepolymer (or concentrated polymer solution) is applied to the patterned surface of an elas-tomeric mold and then brought into the contact with a substrate. After prepolymer is cured thermally or by UVlight, the elastomeric mold is peeled away. Apattern is left on the surface of the substrate. In this study, ～300 nm lines and three-dimensional patterns of PMMA and epoxy on planar and/or non-planar substrates are realized.

Key words: Microtransfer molding, Micropatterning, Elastomeric stamp

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