化学气相淀积法合成氮化铝薄膜及其工艺设计

谢松, 刘希, 孟广耀

A Technical Design and Experiment of the Chemical Vapor Deposition of AIN Film

XIE Song, LIU Xi, MENG Guang-Yao

高等学校化学学报 . 1996, (6): 838 -842 .