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一种可以正负互用的水型化学增幅抗蚀剂的研究
陈明, 李元昌, 洪啸吟, 焦晓明, 程爱萍
Image Reversal Techniques with a Water-based Chemical Amplified Photoresist
CHEN Ming, LI Yuan-Chang, HONG Xiao-Yin, JIAO Xiao-Ming, CHENG Ai-Ping
高等学校化学学报 . 2000, (
9
): 1485 -1488 .