高等学校化学学报
低介电多孔薄膜的制备及形成机制研究
徐洪耀 王献彪 吴振玉
Preparation and Forming Mechanism of Porous Film with
Low Dielectric Constant
XU Hong-Yao, WANG Xian-Biao, WU Zhen-Yu
高等学校化学学报 . 2006, (1): 104 -107 .