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单一混合固态源PE-MOCVD法制备YSZ薄膜及其表征
刘铭飞, 姜银珠, 高建峰, 王艳艳, 孟广耀
Synthesis of YSZ Film by Solid Single Source PE-MOCVD Method and Characterization
LIU Ming-Fei, JIANG Yin-Zhu, GAO Jian-Feng, WANG Yan-Yan, MENG Guang-Yao
高等学校化学学报 . 2005, (
11
): 1981 -1985 .