利用去湿现象制备图案化的离子刻蚀聚合物保护层
陆广, 曹召良, 卢振武, 李伟, 姚计敏, 张刚, 杨柏, 沈家骢
Fabrication of Patterned Polymer Resists for Ion Etching by Using Dewetting
LU Guang, CAO Zhao-Liang, LU Zhen-Wu, LI Wei, YAO Ji-Min, ZHANG Gang, YANG Bai, SHEN Jia-Cong
高等学校化学学报
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2002, (12): 2390
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