高等学校化学学报
激光等离子体诱发SiCl4解离沉积硅膜的研究
张杰, 张昌言, 蔺恩惠, 李艳玲, 邱明新, 陆雪标
Studies on Deposition of Silicon Film by Laser-Plasma-Induced Dissociation of SiCl4
Zhang Jie, Zhang Chang-yan, Lin En-hui, Li Yan-ling, Qiu Ming-xin, Lu Xue-biao
高等学校化学学报 . 1991, (2): 265 -266 .